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基于分立光強測量器件的線性相位反演波前傳感器,衍射成像光學系統固定在軸向平移臺上,微透鏡陣列固定在垂直升降臺上,置于衍射成像光學系統后離焦面上;光學匹配放大系統置于微透鏡陣列后離焦面,分立光強測量器件組置于光學匹配放大系統后并分別固定在兩軸向平移臺上,上述光學裝置放置在底座上;平行光源通過衍射成像光學系統得到無像差時的遠場光斑圖像,再通過微透鏡陣列得到分立子光束,再經過光學匹配放大系統耦合到對應的分立光強測量器件組并被其采集數據,再利用A/D卡將相應的數據采集到PC計算機中進行數據處理;本發明波前傳感器使用分立光強測量器件進行遠場圖像數據的采集,具有更高的光強靈敏度,并且這種器件易于獲得,適用性廣。 |
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基于分立光強測量器件的線性相位反演波前傳感器
基于分立光強測量器件的線性相位反演波前傳感器,包括衍射成像光學系統(1)、微透鏡陣列(2)、光學匹配放大系統(3)、分立光強測量器件組(4)、A/D卡(5)、PC計算機(6)、軸向平移臺(7)、軸向平移臺(8)、軸向平移臺(9)、底座(10)和垂直升降臺(11);其特征在于:衍射成像光學系統(1)固定在軸向平移臺(7)上,可進行軸向平移調整;微透鏡陣列(2)固定在垂直升降臺(11)上,可進行上下平移調整,并置于衍射成像光學系統(1)的后離焦面上;光學匹配放大系統(3)置于微透鏡陣列(2)的后離焦面,并固定在軸向平移臺(8)上,可進行軸向平移調整;分立光強測量器件組(4),置于光學匹配放大系統(3)之后,并固定在軸向平移臺(9)上,可進行軸向平移調整,將上述光學裝置放置在底座(10)上;平行光源出射平行光,通過衍射成像光學系統(1)得到無像差時的遠場光斑圖像,再通過微透鏡陣列(2)得到分立子光束,分立子光束通過光學匹配放大系統(3)耦合到對應的分立光強測量器件組(4),分立光強測量器件組(4)采集到數據,再利用A/D卡(5)將相應的數據采集到PC計算機(6)中進行數據處理。
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專利號: |
200810112286 |
申請日: |
2008年5月22日 |
公開/公告日: |
2008年10月15日 |
授權公告日: |
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申請人/專利權人: |
中國科學院光電技術研究所 |
國家/省市: |
四川(51) |
郵編: |
610209 |
發明/設計人: |
李新陽、李敏、姜文漢 |
代理人: |
賈玉忠 盧紀 |
專利代理機構: |
(11251) |
專利代理機構地址: |
() |
專利類型: |
發明 |
公開號: |
101285712 |
公告日: |
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授權日: |
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公告號: |
000000000 |
優先權: |
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審批歷史: |
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附圖數: |
1 |
頁數: |
6 |
權利要求項數: |
2 |
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